Modèle AlN
AlN sur le gabarit en silicium
Une plateforme de modèles AlN-on-Si très polyvalente. La couche AlN de haute qualité supporte un large éventail d’applications, notamment l’épitaxie de puissance GaN/RF, les MEMS PIÉZOÉLECTRIQUES (FILTRES SAW/BAW) et les dispositifs photoniques avancés, permettant une intégration fluide avec les procédés de fabrication du silicium matures.